Research Funded Project
Ανάπτυξη βελτιωμένων μεθόδων παρασκευής υμενίων χαλκού μέσω χημικής εναπόθεσης από ατμό (ΧΕΑ; CVD) για μικροηλεκτρονικές εφαρμογές) [available only in greek]
Funding Organization: GSRT
Contract no.: 99ΕΔ-421
Partners: ΙΕΧΜΗ/ΙΤΕ; Ανάδοχος; ΕΚΕΦΕ "ΔΗΜΟΚΡΙΤΟΣ" (Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής); ΕΜΠ(ΤμΧημικών Μηχανικών)
Duration: From: 2000 - to: 2001
Researchers: S. Sotirchos
Year Period: 1998-2001
Type: national
Contract no.: 99ΕΔ-421
Partners: ΙΕΧΜΗ/ΙΤΕ; Ανάδοχος; ΕΚΕΦΕ "ΔΗΜΟΚΡΙΤΟΣ" (Ινστιτούτο Μικροηλεκτρονικής); ΕΜΠ(ΤμΧημικών Μηχανικών)
Duration: From: 2000 - to: 2001
Researchers: S. Sotirchos
Year Period: 1998-2001
Type: national